1、真空的定義
真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
2、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度單位
通常用托(Torr)為單位,近年國際上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
4、托與帕的轉換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、平均自由程
作無(wú)規則熱運動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。
6、流量
單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
7、流導
表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩定狀態(tài)下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。
符號記作“U”。U=Q/(P2- P1)
8、壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
9、標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。
10、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩定在某一真空度,此真空度稱(chēng)為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
11、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下,單位時(shí)間內由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱(chēng)為抽氣速率,簡(jiǎn)稱(chēng)抽速。即Sp=Q/(P-P0)
12、羅茨真空泵
具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。
13、真空系統常用名稱(chēng)
(1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。