干式真空泵抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦？

干式真空泵主要在半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應用和發(fā)展。國外的干泵市場(chǎng)正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，而歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦？

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉子上做一些防腐涂層來(lái)延緩腐蝕速率。

但是由于干式真空泵運行時(shí)內部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來(lái)處理腐蝕性介質(zhì)對無(wú)油干式真空泵是不適合的。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現細微的裂紋就會(huì )導致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。那么是不是只要特殊設計能可靠地控制溫度的設備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒(méi)有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？雅之雷德機電科技答案是肯定的。該泵應用其自身先進(jìn)的冷卻系統，可以調整泵腔內及轉子的溫度，使之沒(méi)有離子形式存在，全都氣化，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評價(jià)爆炸有兩個(gè)指標：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因為螺桿干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內沒(méi)有摩擦，所以不會(huì )產(chǎn)生電火花，就沒(méi)有了火源，另外其通過(guò)自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達到，從而杜絕爆炸！

干式真空泵是行業(yè)發(fā)展的趨勢，干式真空泵使工作容積中無(wú)油，因此帶來(lái)了不少益處。有些立式螺桿真空泵通過(guò)對內表面溫度的控制以滿(mǎn)足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。適于處理含固體微粒介質(zhì)并且不需要加過(guò)濾器。